반도체 장비업체 세메스는 국내 최초로 플라즈마 타입의 반도체 건식 세정장비(설비명 퓨리타스)를 개발해 양산에 들어간다고 21일 밝혔다. 이 설비는 반도체 패턴(미세회로)의 미세화, 고집적화 추세에 따라 공정의 한계가 있는 기존 습식 세정방식이 아닌 건식 세정방식을 채택해 제작했다. 웨이퍼에 다이렉트 플라즈마를 쓰지 않고 리모트 플라즈마를 사용해 다양한 막질
수술 후 발생한 감염을 의사의 과실로 단정하면 안된다는 대법원 판단이 나왔다. 20일 법조계에 따르면 대법원 1부(주심 서경환 대법관)는 최근 A씨가 병원 측을 상대로 낸 손해배상 청구 소송에서 피고 패소로 판단한 부분에 대한 원심 판결을 깨고 사건을 서울북부지법으로 돌려보냈다. 수술이 아닌 다른 원인으로 인한 감염 가능성을 배제하기 어렵고, 수술 중의 직
